问答题
什么是自对准技术？
将两次MASK步骤合为一次，让D，S和G三个区域一次成形
问答题 铝栅重叠设计方法虽然可解决铝栅MOS工艺的缺点，但还存在哪些缺点？
问答题 铝栅MOS工艺的缺点是什么？
问答题 MOS工艺包括有哪几种？MOS工艺的重要参数是什么？什么是特征尺寸？
