问答题
什么是离子束溅射？
将离子产生的区域与溅射沉积的区域分开。离子产生在较高的压力下，再将其引入到真空度高的区域进行溅射沉积，这样既可以避免放电......
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问答题 为什么射频溅射可以溅射非导电靶材？
问答题 什么是二极溅射？其工艺参数如何？
问答题 磁控溅射中，磁场起什么作用？
