问答题
磁控溅射中,磁场起什么作用?
磁场虽不能对运动电荷做功,但是能改变运动方向,在磁控溅射中,靶面水平方向的磁场和法向的电场构成了互相垂直的电磁场,电子在......
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问答题 磁控溅射的特点是什么?
问答题 合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别?
问答题 沉积速率与压力关系如何?