问答题
磁控溅射的特点是什么?
由于正交的磁场有效的地将电子束缚在靶面附近运动,大大提高了电子的电离能力,所以磁控溅射可以在较低的放电电压,在较低的压力......
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问答题 合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别?
问答题 沉积速率与压力关系如何?
问答题 什么是溅射速率?