多项选择题
（）属于常见的真空计。
A.热阻真空计 B.热偶真空计 C.热阴极电离真空计 D.热胶真空计
单项选择题 一般溅镀使用真空度约在（）Torr较佳。
单项选择题 靶材中杂质和表面氧化物对薄膜（）。
单项选择题 物理气相沉积的英文简称是（）。
