多项选择题 影响化学气相沉积的工艺参数包括（）。

判断题 相比于立式开口体系，应用卧式开口体系制备的薄膜均匀性更好。

判断题 相比于常压化学气相沉积，低压化学气相沉积成膜速率更快。