判断题 有光刻胶覆盖硅片的三个生产区域分别为光刻区、刻蚀区和扩散区。

判断题 光刻的本质是把电路结构复制到以后要进行刻蚀和离子注入的硅片上。

判断题 芯片上的物理尺寸特征被称为关键尺寸，即CD。