判断题 芯片上的物理尺寸特征被称为关键尺寸，即CD。

判断题 对正性光刻来说，剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。

判断题 曝光后烘焙，简称后烘，其对传统I线光刻胶是必需的。