判断题 曝光后烘焙，简称后烘，其对传统I线光刻胶是必需的。

判断题 光刻区使用黄色荧光灯照明的原因是，光刻胶只对特定波长的光线敏感，例如深紫外线和白光，而对黄光不敏感。

判断题 步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。