问答题
简述光刻的工艺过程。
光刻工序：光刻胶的涂覆→爆光→显影→刻蚀→去胶。光刻的基本要素是掩模板和光刻胶。......
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问答题 集成电路工艺主要分为哪几大类，每一类中包括哪些主要工艺，各工艺的主要作用是什么？
问答题 氧化硅的主要作用有哪些？
问答题 集成电路工艺划分为哪些？
