判断题
真空冷却系统需以纯水作爲循环媒介。
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判断题 靶材爲消耗性材料,使用到一定程度后必须更换。
判断题 分子泵啓动速度快﹑噪音小﹑运行平稳﹑抽速大,不需要任何工作液体。
判断题 真空度愈高﹐真空室中气体的平均自由程愈大。