单项选择题 GNX200B减薄机加工过程中出现“CLAMP ERROR OF STANDBY StV-TABLE”异常停机，解除报警之后仍可继续开始加工，请问该如何选择此时出现的对话框的信息“（）”。

单项选择题 GNX200B减薄机关闭真空泵的方法：按“（）”键后，在对话框中按“VACUUMUNIT”即可关闭真空泵。

单项选择题 半自动减薄晶圆时，需要用到的组合键是“（）”。