问答题
简述离子注入工艺中退火的主要作用？
由于离子注入所造成的损伤区及畸形团，增加了散射中心及陷阱能级，使迁移率和寿命等半导体参数下降。此外，大部分的离子在被注入......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？
问答题 简述两步扩散的含义与目的？
名词解释 保形覆盖
