问答题
试简述LIGA技术的原理、特点及主要工艺。
原理：LIGA技术的机理是由深层X射线光刻、电铸成形及塑注成形三个工艺组成。在用LIGA技术进行光刻过程中，一张预先制作......
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问答题 什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。
问答题 叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？
问答题 试分析工程陶瓷材料的加工（磨削）技术及加工（磨削）机理。
