单项选择题
扩散的杂质分布包括（）和有限表面源分布。
A.无限表面源分布B.杂质总量分布C.恒定表面源分布D.表面源分布
单项选择题 根据扩散系数的定义，其受以下哪个因素的影响最大？（）
单项选择题 扩散的微观机制包括间隙式扩散和（）。
多项选择题 氧化硅在集成电路制造中有哪些应用？（）
