单项选择题
在Dry Etch工程中，Active Etch工艺不会被刻蚀到的Film是（）
A.G-SiNx B.P-SiNx C.N+a-SiNx D.a-Si
单项选择题 CVD中干泵进行Purge和Sealing的气体是（）
单项选择题 CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）
单项选择题 CVD中起到冷却作用的设备是（）
