单项选择题
下面关于皮拉尼真空计的描述中，哪一个是错误的？（）
A.大气压到低真空领域，由于气体分子数足够多，热量变化相对于压力变化比例与中真空、高真空区域相比是最大的。B.在高真空到超高真空区域，由于气体分子数很少，所以对于气体分子的热移动量，其它的热移动量不容忽视。C.根据发热体表面状态的不同，如脏污等，热辐射率、发热体和气体分子的热能授受比例也会发生变化，指示值变动的可能性很大。D.由于输出灵敏度取决于气体分子的种类。所以同等压力（1×103Pa）左右情况下的氩气和氦气相比较，氦气显示出更高的压力值。
单项选择题 RF电源设备设计难度是（）。
单项选择题 高密度Plasma作用下，基板的温度可以到（）以上。
单项选择题 以下是集成电路制造工序前工序的是（）。
