单项选择题
高电流注入机的扫描方式为（）。
A.静电扫描B.机械扫描C.静电扫描与机械扫描结合
单项选择题 下列选项属于BF3的特性的是（）
单项选择题 离子注入机机架外壳和高压放电棒接地电阻小于（）。
判断题 Metal slab中的金属Ti是为了形成金属硅化物降低接触电阻。
