多项选择题
在线使用的靶材主要有()。
A.AlSiB.Ti/TiNC.AlCuD.纯Al
多项选择题 需要监控的参数包括()。
多项选择题 PVD有哪些种类?()
单项选择题 AlSi合金中含Si比例一般为()。