多项选择题
切片是抛光片制备中一道重要的工序，因为这一工序基本上决定了硅片的四个重要参数，即晶向、（）、（）、（）。
A.平行度B.直径C.翘度D.厚度
多项选择题 离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。
多项选择题 离子注入使用用来制作（）
多项选择题 离子注入后退火的目的是（）
