多项选择题
离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。
A.离子发生器B.磁分析器C.加速器D.减速器
多项选择题 离子注入使用用来制作（）
多项选择题 离子注入后退火的目的是（）
多项选择题 离子注入的有点有（）
