多项选择题

A.tox是器件栅氧化层的厚度,由工艺决定
B.L是器件的沟道长度,W是器件的宽度
C.一般所说的90nm工艺,其中的90nm是指器件的最小沟道长度L
D.一般所说的90nm工艺,其中的90nm是指器件的栅氧化层的厚度tox