问答题
给出硅片制造中光刻胶的两种目的。
1.将掩膜版图案转移到硅片表面顶层的光刻胶中。 2.在后续工艺中保护下面的材料。
问答题 列出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。
问答题 解释亮场掩膜版和暗场掩膜版。
问答题 描述投影掩膜版和光掩膜版的区别?