名词解释
超细颗粒
最新的净化空气标准把直径小于0.1um的颗粒一直到分立颗粒计数器能检测到的最小颗粒都规定为超细颗粒
名词解释 10级0.3um
名词解释 1级净化间
问答题 解释什么是静电释放，并给出在硅片制造中由ESD引起的三种问题及ESD的三中控制方法。
