问答题
解释什么是静电释放,并给出在硅片制造中由ESD引起的三种问题及ESD的三中控制方法。
ESD是指静电荷从一个物体向另一个物体末经控制地转移。ESD的危害性:会使硅表面形成电荷积累,吸......
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问答题 说明五类净化间的沾污。
问答题 给出半导体制造中沾污及致命缺陷的定义。
问答题 芯片加工环境指什么?半导体产业如何控制芯片制造过程中加工环境的沾污?