判断题
溅射是个化学过程,而非物理过程。
错误
判断题 传统互连金属线的材料是铝,即将取代它的金属材料是铜。
判断题 关键层是指那些线条宽度被刻蚀为器件特征尺寸的金属层。
判断题 阻挡层金属是淀积金属或金属塞,其作用是增加上下层材料的附着。