判断题 对于大马士革工艺，重点是在于金属的刻蚀而不是介质的刻蚀。

判断题 不正确的刻蚀将导致硅片报废，给硅片制造公司带来损失。

判断题 干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件，例如大于3微米。