填空题
真空蒸发的蒸发源有（）、（）、（）、（）等。
电阻加热源；电子束加热源；激光加热源；高频感应加热蒸发源
填空题 离子注入系统结构一般包括（）等部分。
填空题 离子注入在衬底中产生的损伤主要有（）等三种。
填空题 常规平面工艺扩散工序中的恒定表面源扩散过程中，杂质在体内满足（）函数分布。常规平面工艺扩散工序中的有限表面源扩散过程中，杂质在体内满足（）函数分布。
