单项选择题 Cryo pump（冷冻泵浦）最不容易捕捉之气体分子爲（）。

单项选择题 扩散泵是靠被加热的（）的高速运动向出口方向碰撞被抽气体，使其被前级泵抽走的。

单项选择题 有关MFC，下列描述（）是错误的。