单项选择题
扩散泵是靠被加热的（）的高速运动向出口方向碰撞被抽气体，使其被前级泵抽走的。
A.水蒸气分子 B.离子 C.氩气分子 D.油蒸气分子
单项选择题 有关MFC，下列描述（）是错误的。
单项选择题 直流溅射可用于（）工件。
单项选择题 调压阀的作用是调节泵的（）和保持制程压力的稳定。
