单项选择题 调压阀的作用是调节泵的（）和保持制程压力的稳定。

单项选择题 旋片泵是利用（）的原理，通过吸气﹑压缩﹑排气的不断循环实现抽气目的。

单项选择题 所有溅射镀膜设备使用的电源中（）。