问答题
什么是集成电路工艺？
是把电路所需要的晶体管、二极管、电阻器和电容器等元件用一定工艺方式制作在一小块硅片、玻璃或陶瓷衬底上，再用适当的工艺进行......
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问答题 分别解释IC、VLSI、ULSI、CMP、CVD、LPCVD、RIE、SOI、ERC、DRC、EXT等的含义。
问答题 简述微电子、集成电路、集成度、场区、有源区、阱、外延。
问答题 集成电路按工艺器件类型和结构形式分为哪几类，各有什么特点？
