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集成电路工艺原理

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判断题

与干法刻蚀相比,湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比,对器件不会带来等离子体损伤,并且设备简单。

【参考答案】

正确

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判断题 在刻蚀中用到大量的化学气体,通常用氟刻蚀二氧化硅。

判断题 在半导体生产中,湿法腐蚀是最主要的用来去除表面材料的刻蚀方法。

判断题 刻蚀的高选择比意味着只刻除想要刻去的那一层材料。

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