多项选择题 ‏集成电路制造技术中，薄膜制备技术主要包括两大类（）。

单项选择题 与真空蒸发相比，溅射薄膜的台阶覆盖性好，关键在于（）。

单项选择题 ‎以下不属于真空蒸发的局限性的是（）。