多项选择题
集成电路制造技术中，薄膜制备技术主要包括两大类（）。
A.薄膜生长技术B.薄膜淀积技术C.薄膜外延技术D.薄膜堆叠技术
单项选择题 与真空蒸发相比，溅射薄膜的台阶覆盖性好，关键在于（）。
单项选择题 以下不属于真空蒸发的局限性的是（）。
单项选择题 以下不属于电子束加热的优点的是（）。
