单项选择题
以下不属于电子束加热的优点的是（）。
A.蒸发温度高B.工艺设备简单C.热效率高D.高纯度淀积
单项选择题 以下不属于真空蒸发过程的是（）。
单项选择题 以下磷（P）源属于气态源的是（）。
单项选择题 以下哪一项不属于扩散的局限性？（）
