单项选择题
以下不属于真空蒸发过程的是（）。
A.气相输运B.薄膜淀积C.薄膜定向D.加热蒸发
单项选择题 以下磷（P）源属于气态源的是（）。
单项选择题 以下哪一项不属于扩散的局限性？（）
单项选择题 扩散的杂质分布包括（）和有限表面源分布。
