单项选择题
以下磷(P)源属于气态源的是()。
A.POCl3B.P2O5C.PH3D.PCl3
单项选择题 以下哪一项不属于扩散的局限性?()
单项选择题 扩散的杂质分布包括()和有限表面源分布。
单项选择题 根据扩散系数的定义,其受以下哪个因素的影响最大?()