判断题 APCVD反应器中的硅片通常是平放在一个平面上。

判断题 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，分为同质外延和异质外延两大类。

判断题 在半导体产业界第一种类型的CVD是APCVD。