问答题
什么是阳极消失?
沉积化合物膜层时,不可避免地会在阳极表面逐渐沉积上一层绝缘的化合物膜层,使得放电区域的低能电子越来越难以回到作为归宿的阳......
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问答题 在靶中毒的情况下,沉积速率和反应气体流量为什么会出现迟滞现象?
问答题 为什么反应溅射沉积速率低?
问答题 磁控靶表面的磁场强度是多少?