问答题
为什么反应溅射沉积速率低？
在反应溅射时，反应气体会与靶材反应生成化合物，而化合物的溅射率低于原靶材的溅射率。另一方面，化合物的二次电子发射能力强，......
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问答题 磁控靶表面的磁场强度是多少？
问答题 磁控溅射典型的工艺参数？
问答题 什么是离子束溅射？
