判断题 高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。

判断题 CVD是利用某种物理过程，例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移，即原子或分子由源转移到衬底（硅）表面上，并淀积成薄膜。

判断题 快速热处理是一种小型的快速加热系统，带有辐射热和冷却源，通常一次处理一片硅片。