判断题
硅热氧化形成SiO2体积将增加约1倍。
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判断题 SiO2作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。
判断题 SiO2中5价的网络形成者可使结构强度增加,而3价的网络形成者可使结构强度减小。
判断题 热氧化生长的SiO2都是四面体结构,有桥键氧、非桥键氧,桥键氧越多结构越致密,SiO2中有离子键成份,氧空位表现为带正电。