判断题 真空冷却系统需以纯水作爲循环媒介。

判断题 靶材爲消耗性材料，使用到一定程度后必须更换。

判断题 分子泵啓动速度快﹑噪音小﹑运行平稳﹑抽速大，不需要任何工作液体。