判断题 磁控靶産生不均匀刻蚀的现象是由于磁场造成粒子的特殊轨迹所致。

判断题 当活性炭吸附量达饱和及活性炭效能丧失会造成Cryo Pump回温。

判断题 反应气体的分压大小不可能改变薄膜的性质。