判断题 偏压溅射可提高薄膜纯度，增加薄膜附着力，改变薄膜结构。

判断题 “有害空间”的存在决定了旋片泵只能达到某一极限真空度值。

判断题 溅射装置中由溅射材料所组成的电极是工件。