单项选择题
由于保养作业的失误造成靶材和地线短路会发生（）。
A.正常放电B.成膜C.异常放电D.等离子
单项选择题 检漏仪吸枪校正时采用通道类型的标准漏孔所供给的氦压力是（）。
单项选择题 以下哪个仪器中，不包含离子源收集功能？（）
单项选择题 离子注入机通过什么方式将杂质注入SiWafer？（）
