单项选择题
蒸镀的过程为（）
A.蒸发—气相质量输运—淀积成膜B.离化—气相质量输运—淀积成膜C.蒸发—离化—淀积成膜D.离化—挥发—淀积成膜
单项选择题 Ti.Ta.Al.Cu.Pt对应的物质分别是（）
单项选择题 VPE是指（）
单项选择题 PVD是指（）
