问答题 定义刻蚀选择比。干法刻蚀的选择比是高还是低？高选择比意味着什么？

问答题 定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？

问答题 刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺。