单项选择题
LPCVD是属于哪种CVD？（）
A.高温高压B.高温低压C.低温高压D.低温低压
单项选择题 离子溅射泵有几块Ti阴极板？（）
单项选择题 适用于一般工业用，带有通用感应电机是哪种泵？（）
单项选择题 采用铝作为LR/HR系列干泵的主要材料的理由是什么？（）
